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大型多腔连续溅射式镀膜设备
文章来源 : 军民结合推进司 发布时间:2012年12月21日
【技术开发单位】兵器装备集团公司河南中光学集团有限公司

  【技术简介】电子在正交的磁场和电场中运动,引起工作气体电离,离子与靶场原子碰撞产生溅射,在基体材料上沉积成膜。

  【技术特点】本产品为适合超长不锈钢管镀膜的多腔连续式磁控溅射镀膜机成套设备,采用超长靶阴极、大型工件自动传送和行星式公自转系统、超长管状工件膜厚监控、在线检测及自动控制等独特设计,可保证被镀产品吸收膜的一致性,实现了连续可靠运行与低成本规模化生产,将填补国内超大型连续镀膜机设计和制造的空白。

  【技术水平】大型多腔连续溅射式镀膜设备技术要求如下:
  极限真空度:7×10-5Pa
  恢复真空度:1×10-3Pa≤20min(空载)
  系统漏率:停泵关机24小时后真空度≤20Pa
  有效溅射长度:4060m
  装载量:Φ70mm×4060mm的集热管40根
  膜层均匀性:≥90%

  【可应用领域和范围】太阳能高温集热管、薄膜太阳能制造

  【专利状态】已获得专利5项

  【技术状态】样品阶段

  【合作方式】风险投资  合作开发

  【投入需求】技术需方投入必要的流动资金,我方可提供技术支持及技术培训。

  【预期效益】项目完成后利润率25%,能够为国家系能源领域提供有力的技术支撑。

  【联系方式】李进曌  15839961845


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