全自动激光晶体生长炉

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发布时间:2014-12-11   
  【技术开发单位】中国电子科技集团公司第二十六研究所

  【技术简介】为满足国防军工应用,我所组织团队进行高温YAG,、LYSO、窗口材料等高温晶体生长设备的研发,针对目前现有设备情况,集中力量解决设备智能化水平、高温负压控制技术、超低晶升技术、称重数据处理等技术难题,以晶体实时生长速度为控制参量,解决在控制过程中出现的滞后、非线性控制问题、实现在高压、真空、负压、高温、流动性气氛等多种工艺下的感应法、电阻法全自动高温晶体生长工艺。可以满足绝大多数晶体全自动生长需求。

  【技术特点】系统采用智能化运行,节省大量人力物力,提高生产效率;具备自诊断功能,针对各类型情况自动判断处理,安全防护性大大提高;产品工艺重复一致性提高。独有的数据比对功能,便于数据分析和工艺的提升;独有的数据采集和处理系统,提高系统控制的准确性,更利于温度场的稳定;特有的晶体建模软件,有利于各类型形状晶体的稳定控制和生长;超低拉速稳定控制,有利于特种晶体的极低拉速稳定生长;设备整体水平达到国际先进水平。

  【技术指标】

  提拉有效行程:  550mm
  提拉速度范围:  0.1~100mm/min
  旋转速度范围:  1~40r/min
  手控升降速度:  1~100mm/min
  称重量程:  12kg,20kg30kg可选
  中频功率:  40kw,60kw,80kw可选
  充气压力:  0~0.05MPa
  炉膛尺寸:Φ600mm,Φ800mm,Φ1000mm,Φ1200mm可选
  控制方式:  自动、手动线控
  最低提拉速度:≤0.1mm/h
  提拉系统突跳:  0.001mm(1mm/h)
  称重最小分度值:  10mg
  中频功率控制精度:  1‰
  真空度:优于进入10-3Pa静态测试)

  【技术水平】国际先进

  【可应用领域和范围】激光单晶炉主要用于生长各类型人工晶体材料,通过晶体材料的开发可广泛应用于节能照明、集成电路开发、军事技术、医疗检测、安防、核医学、高能物理、空间探测、暗物质探测、红外光学、半导体微电子工艺等诸多方向。

  【专利状态】已取得专利3项

  【技术状态】小批量生产、工程应用阶段

  【合作方式】融资需求

  【投入需求】1000万元

  【转化周期】2年

  【预期效益】项目实施将打破国外技术封锁、解决产业链中的装备技术

  关键、瓶颈问题;目前,进口的晶体材料生长装备的单价在三百五十万元以上,采用同类型我所自产设备,单台可降低成本200万,以批产50台计算,可直接节约投资1亿。随着国内各行业对高品质人工晶体材料需求量的骤增,对各类型晶体材料的研究愈加重视,目前国产手动或半自动设备不能满足现有要求,陆续会更新为全自动设备,预计未来单晶炉设备的需求量在1000台以上,将带动后端晶体材料市场的繁荣发展,预期直接间接效益超过千亿。

  【联系方式】杨  柳023-62916218/15909360423


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