微型卫星  microsat  用微型化技术制造的人造地球卫星。这种卫星集成化程度高，卫星分系统间没有明显的界限。半导体微型制造技术的发展，突破了微电子技术仅用于制造集成电路的局限，出现了用这种微型制造技术加工各种微机械的全新概念。利用这种技术可以制作数微米的微机械系统；可以将传感器、执行器与控制电路集成在一起，构成可完成各种复杂功能的微型电子机械系统(MEMS)，从而实现力学、热学、声学、光学、磁学、生物学以及化学等许多功能。这种微型技术形成了微型卫星的技术基础，使卫星分系统小型化、微型化。微型卫星一般质量为10～100kS。如果用微型技术使整颗卫星集成化，甚至芯片化，卫星质量可在1～10kg及以下。它是制造技术实现极小细微尺度，即纳米级尺度的产物，故这种卫星又称为纳(米)卫星或芯片卫星。